超純水處理系統中的反滲透超純水處理系統一般由預處理、二級RO系統、EDI裝置及拋光混床進行系統化水處理，超純水處理系統中的二級RO系統包括系統泵、反滲透裝置、清洗裝置及中間水箱裝置包括反滲透膜及膜殼、機架、電控箱。超純水處理系統中的EDI裝置中包含有由陰膜、陽膜和隔板多組交替排列電滲析器。超純水，是一般的純水處理設備很難達到的處理程度，通常采用預處理、 反滲透技術、超純水處理設備以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離 子交換(拋光)、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻 率方可達18.25MΩ*cm。

超純水處理系統的工藝流程大致分成以下幾種：1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為： 原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純 水泵→后置精密過濾器→用水點

 2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝 流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床(復 床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點 
超純水處理系統流程簡單、配置合理有效、處理效率高，例如以自來水水質的進水，其出水水質指標電阻 率可至≥17.5MΩcm。